半導体洗浄装置向け処理槽(石英槽)の開発・製造は、半導体製造装置関連の分野における、わたしたちの原点。金属汚染や有機汚染など、ウエハー表面の微細な汚れをくまなく洗浄するために、わずかな水流むらも引き起こさない高精度な石英槽を提供し続けています。また、約1,700℃という高い軟化点を持つクォーツの特性を生かし、ボートやチューブをはじめとするウエハー熱処理装置用部品の開発・製造を積極的に展開しています。
図面と全行程の内容をデータ化して長期保存。メンテナンスに迅速に対応するとともに、追加オーダーに対しても同精度の製品を供給します。また、データには形成に携わった技術者と検査者の全氏名を記録し、トレーサビリティーを高めています。
主要製品
SCREEN SPE クォーツでは、石英槽のほか、搬送ユニットのロボットチャックやウェハーガイドなど、繊細なウエハーに直接触れる高精度・高品質な製品を供給しています。また、薬液処理槽において薬液を加熱するインラインヒーターなど、多彩な石英ガラス製品も開発・製造しています。
- 石英槽(6インチ・8インチ・12インチ)
- チャック
- ウェハーガイド
- インラインヒーター ほか
製品サンプル
半導体装置8インチ用石英槽
- 最終水洗槽 FR
ウエハーの最終水洗を行います。 - 機能水洗槽 QDR
急速排水およびスプレーを繰り返して、ウエハーをスピーディーに洗浄します。 - 薬液処理槽 CARO
レジスト剥離(はくり)、拡散前洗浄、パーティクル除去、酸化膜エッチング、窒化膜除去など、目的に応じてフレキシブルに組み合わせることができます。
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズのモジュール設計の8インチ用ウェットステーション「WS-820シリーズ」に搭載されている純正パーツです。
半導体装置8インチ用石英槽
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