半導体製造ラインにおける熱処理工程やエッチング工程で使用される石英ガラス製品の加工をはじめ、太陽電池、光関連、医療バイオなど、大型化、微細化するあらゆる製品加工に応える技術の研究開発にまい進。クォーツ(石英ガラス)に秘められた無限の可能性を具現化するため、長年培ってきたノウハウを生かし、時代を切り開く新たな業界への展開を図っています。
大型旋盤
大小のさまざまなチューブ製品に対応するため、自動成形旋盤を導入。最大直径700mmの能力を持ち、寸法自動測定機を備えた旋盤により、確かな品質を提供します。 また、溶融石英よりもはるかに純度が高い合成石英製品の製造ラインを確立。材料の持つ高いパフォーマンスを最大限に生かす製造技術により、お客さまのニーズにお応えします。
大型旋盤
主要製品
半導体製造プロセスで使用される炉芯管(アウター、インナー、反応管、二重管など)やボート・キャップなど、300mmウエハーに対応する石英加工品を供給しています。また、高純度と優れた耐熱性・耐薬品性という石英の特性を生かし、直径1,000mmを超える大型ベルジャーやチャンバーをはじめとするエッチング・アッシング用石英部品や、ランプアニール用石英チャンバーなど、確かな加工技術と品質管理の下、多彩な石英ガラス製品を開発・製造しています。
- 炉芯管(反応管・二重管・アウター・インナー)
- ボート
- キャップ・保温筒
- ベルジャー
- チャンバー
- 大型チャンバー
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